乙硅烷是一种无机化合物，化学式为H6Si2，在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与六氟化硫接触则爆炸。

分子量： 62.22

熔点(101.325kPa)： -132.6℃

沸点(101.325kPa)： -14.3℃

液体密度(-14.3℃，101.325kPa)： 901 kg/m

气体密度(-14.3℃，101.325kPa)： 2.97kg/m

熔化热(-132.6℃，14055kPa)： 1.34 kJ/kg

气化热(-14.3℃，101.325kPa)： 343.74 kJ/kg

蒸气压(-80℃)： 3.4kPa；(0℃)： 181kPa；(80℃)： 1468kPa

着火点： 室温以下